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具體工(gōng)藝對(duì)溫度的要求以後還要列舉,淨化工(gōng)程公司但(dàn)作(zuò)爲總的原則看(kàn),由于加工(gōng)精度越來(lái)越精細,所以對(duì)溫度波動範圍的要求越來(lái)越小(xiǎo)。例如在大(dà)規模集成電路生産的光刻曝光工(gōng)藝中,作(zuò)爲掩膜闆材料的玻璃與矽片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小(xiǎo)。
具體工(gōng)藝對(duì)溫度的要求以後還要列舉,淨化工(gōng)程公司但(dàn)作(zuò)爲總的原則看(kàn),由于加工(gōng)精度越來(lái)越精細,所以對(duì)溫度波動範圍的要求越來(lái)越小(xiǎo)。例如在大(dà)規模集成電路生産的光刻曝光工(gōng)藝中,作(zuò)爲掩膜闆材料的玻璃與矽片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小(xiǎo)。直徑100 um的矽片,溫度上(shàng)升1度,就引起了(le)0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低(dī),因爲人出汗以後,對(duì)産品将有污染,淨化工(gōng)程公司特别是怕鈉的半導體車間,這(zhè)種車間不宜超過25度。
根據中國建築科學研究院建築物理(lǐ)研究所1981年爲編制《潔淨廠(chǎng)房設計(jì)規範》而進行的測定資料,在65dB(A)以下(xià)時(shí),隻有30%的人感到(dào)高(gāo)煩惱。在65—70dB(A)時(shí),其影響對(duì)工(gōng)作(zuò)效率的三方面反應表現(xiàn)出較低(dī)水(shuǐ)平;在60dB(A)以下(xià)說話(huà)清楚滿意.60~75dB(A)時(shí)有一定困難,犬于75dB很(hěn)困難。淨化工(gōng)程公司因此認爲潔淨室噪聲水(shuǐ)平以65d)爲宜,此時(shí)可使高(gāo)煩惱率小(xiǎo)于30%;保證一般通話(huà).
淨化工(gōng)程公司在一定空(kōng)間範圍内,将空(kōng)氣中的微粒子、有害空(kōng)氣、細菌等污染物排除,并将室内溫度、潔淨度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音(yīn)振動及照明(míng)、靜電控制在某一需求範圍内的工(gōng)程學科。淨化工(gōng)程所特别設計(jì)的房間,不論外(wài)在空(kōng)氣條件如何變化,室内均具有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能(néng)。這(zhè)比用(yòng)紊流來(lái)描述亂流潔淨室更确切、更全面。紊流主要決定于雷諾數,淨化工(gōng)程公司也(yě)就是主要受流速的影響,但(dàn)是如果采用(yòng)一個高(gāo)效過濾器頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低(dī),也(yě)要産生上(shàng)述各種結果,這(zhè)就因爲它是一個突變流和(hé)非均勻流。因此這(zhè)種情況下(xià)不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混,而且還有全室範圍内的大(dà)的回流、旋渦所發生的摻混。